1、无气泡安装；
2、与晶圆的最小接触；
3、真空贴合，无滚轮压力；
4、3"~8”晶圆能力；
5、单层、双层膜均适用；
6、 X-Y和θ旋转精度高。
另，可提供12寸全自动贴膜、撕膜真空设备。欢迎您洽谈！
