1、无气泡安装;
2、与晶圆的最小接触;
3、真空贴合,无滚轮压力;
4、3"~8”晶圆能力;
5、单层、双层膜均适用;
6、 X-Y和θ旋转精度高。
另,可提供12寸全自动贴膜、撕膜真空设备。欢迎您洽谈!