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晶圆全自动清洗机 
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品牌: 台湾

1. 自动机台 卡夹放片

2.清洗、甩干、吹气全套工艺

3.多孔隙载盘,护具(Holder)分离气盘专利产品配合使用;

4. 喷淋4头设计,适配客户工艺

5. 量产型双槽设计,可单独控制

6. 清洗槽设计排风侧罩

7. 不同光刻胶或蜡特性调适;

8. PC Base,数据库管理

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